国立大学法人 三重大学 工学部 工学部技術部

型式

  日本電子  JXA-8530F

仕様

• 加速電圧：1～30kV
• 分解能：3nm
• 走査倍率：×40～×300000
• 分析元素：B～U
• PCD(カソードルミネッセンス)装備

設置場所

地域イノベーション研究開発拠点1階

用途

定性、定量、、深さ方向分析、化学結合分析

型式

アルバックファイ  PHIQuanteraSXM

仕様

• 検出元素：Li～
• 検出下限：0.5-0.01atomic%
• 分析深さ：0.5～7.5nm
• 最小ビーム径：9μm
• 帯電中和機能付属
• 角度分解測定可能

設置場所

地域イノベーション研究開発拠点1階

用途

有機化合物の構造決定、定量

型式

  日本電子  FT-NMR ECZ500R（500MHz）

仕様

• 測定可能核種：¹H、¹³C、¹⁹F、¹⁵N、³¹P等（液体試料）

設置場所

オープンイノベーション施設1階

用途

有機化合物の構造決定、定量

型式

  日本電子  FT-NMR ECX-400（400MHz）

仕様

• 測定可能核種：¹H、¹³C、³¹Pなど（液体試料）

設置場所

オープンイノベーション施設1階

用途

固体表面分析、化学結合の測定

型式

島津製作所  ESCA-3400

仕様

• Arエッチング機構付属

設置場所

オープンイノベーション施設3階

用途

薬品、セラミックス、触媒などの品質管理から、有機薄膜、磁性材料、半導体薄膜の表面分析など。物質の同定、精密な定量など。

型式

リガク  RINT-Ultima Ⅳ

仕様

• X線発生部（3kW）
• クロスビームオプティクス（集中法/多層膜ミラー平行ビーム光学系）
• 新型微小部光学系装備
• 新型高速X線検出器D/teX Ultra
• 高精度試料水平型ゴニオメーター
• 長尺スリット
• カウンターモノクロメーター
• 解析ソフトウェア（回折パターン総合解析、JADE定性、定量用）
• 安全装置（インターロック方式緊急停止装置）

設置場所

オープンイノベーション施設1階

用途

高分子薄膜、有機薄膜、半導体薄膜、金属薄膜の構造評価（膜密度、膜厚、表面粗さ）

型式

リガク  SmartLab-nm

仕様

• X線封入管（通常40kV×30mAで運転）
• CuKα線（波長0.1541nm）
• シンチレーションカウンタ
• 鏡面反射モード（反射角 2θ：≤10 deg、反射率 R：>10^-6）
• 中分解能、高分解能（Ge(220)2結晶）モードの選択
• 試料自動アライメント機能
• 解析ソフトウェア（GlobalFit）
• 非鏡面反射モード

設置場所

オープンイノベーション施設1階

用途

熱による物理的・化学的性質の測定

型式

  日立ハイテクサイエンス  EXSTAR6000型

仕様

• 温度範囲：室温～1500℃
• 感度：0.2μg

• 温度範囲：-150～500℃
• 感度：0.2μW

設置場所

オープンイノベーション施設3階

用途

固体試料の定性分析・定量分析

型式

  リガク  Supermini200

仕様

• 波長分散小型蛍光X線分析（WDXRF）
• X線管：Pd（200W）
• 検出器：SC&F-PC
• 検出元素：F～U
• 錠剤成形：油圧式錠剤成型圧縮機

設置場所

オープンイノベーション施設1階

型式

  スペクトリス  Empryean

特徴

• 粉末、薄膜、固体物質の測定が可能
• 3軸測定が可能
• 半導体検出器による高速データ収集
• アクセス可動角度範囲：0.08～78°2θ

設置場所

第1合同棟1階

用途

物質の定量、吸光度、透過率、反射率測定等

型式

  島津製作所  UV-2550

仕様

• 測定法：透過法（液体、フィルム）、反射法

設置場所

分子素材工学科棟（高分子設計化学研究室）

型式

  日本電子  CP10901

仕様

• イオン加速電圧：2～6kV
• イオンビーム径：500μm
• 試料加工スイング角：±30°
• 使用ガス：Ar

設置場所

地域イノベーション研究開発拠点1階

型式

  日立  H500

仕様

• 加速電圧：10～125kV
• 倍率：×100～×800000
• 分解能：3A

設置場所

機械工学科棟1階

型式

  日立  S-2300

仕様

• 加速電圧：0.5～25kV
• 倍率：×20～×200000
• 分解能：4.5nm

設置場所

機械工学科棟1階

型式

  日本電子  JFE-420

仕様

• 到達圧力：3×10-4Pa
• ベルジャ：H250×φ250
• 蒸着用電極：2極
• ヒーター用電源：AC10V 50A

設置場所

地域イノベーション研究開発拠点1階

型式

  日本電子  JFC-1600

仕様

• スパッタリング方式：マグネトロン形
• 使用圧力：20Pa
• ターゲット：白金（Pt）
• 真空チャンバー：H100×φ120
• 所要電源：単相100V　800VA

設置場所

地域イノベーション研究開発拠点1階

型式

  日本電子  JIC-410

仕様

• 放電方式：水平電極形
• 使用圧力：35～40Pa
• ターゲット：カーボン
• 真空チャンバー：H40×φ120

設置場所

地域イノベーション研究開発拠点1階

型式

  BUEHLER  SIMPLIMET3

設置場所

地域イノベーション研究開発拠点1階

型式

  STRUERS  Pedemin

設置場所

地域イノベーション研究開発拠点1階

型式

  BLEHLER  ISOMET

設置場所

地域イノベーション研究開発拠点1階